電容式微量水分儀的優點是：

體積小、測量范圍大、響應迅速，樣品的溫度和壓力的變化對測量的度影響不大。 它不但可以測量氣體中的微量水分，也可以測量液體中的微量水分。

電容式微量水分儀的缺點是：

當被測介質含水量很低時，其誤差較小，當含水量較高時，其誤差增大，隨著介質含水量的逐漸增大，誤差越來越大。另外，還存在耗氣量大，探頭需要經常校準的缺點。 氧化鋁探頭的濕敏性能會隨著時間的推移逐漸下降，這種現象稱之為“老化”，目前解決“老 化”問題的*辦法是定期校準，一般是一年左右校準一次，有時需半年甚至3個月校準一次。